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SK海力士为半导体工艺引入AI解决方案
来源：爱集微APP 作者：
佚名
2023-01-12 08:51:19
SK海力士表示，其已开始通过在半导体工艺中引入人工智能 (AI) 解决方案来提高生产效率和良率。
集微网消息，据韩联社报道，SK海力士表示，其已开始通过在半导体工艺中引入人工智能 (AI) 解决方案来提高生产效率和良率。
SK海力士投资的AI公司Gauss Labs在去年11月推出一种名为“PanoPtesVM(虚拟仪器)”的虚拟计量方案，并在去年12月在引入半导体制造并量产。
据悉，Panoptes VM方案涉及芯片上覆盖薄膜的关键工艺，即将计算方案引入薄膜沉积工艺，利用传感器数据预测制造过程的结果。据悉，薄膜厚度和折射率与半导体质量直接相关，但在薄膜中测量需要大量的时间和资源，难以测量。报道指出，半导体工艺引入的Panoptes VM，可使良率平均提高了21.5%。
SK海力士制造和技术副总裁金永式表示：“我们与高斯实验室的合作致力于实现更智能化的智能工厂，我们将在整个半导体开发和生产中融入人工智能技术，确保技术优势。”
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编辑：张煜洁
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